Tiêu chuẩn yêu cầu của ngành công nghiệp phòng sạch

A cleanroom's performance requirements identify the cleanroom class level required at a given state or condition. Yêu cầu về hiệu suất của phòng sạch xác định cấp độ phòng sạch được yêu cầu ở trạng thái hoặc điều kiện nhất định. There are three level of condition (states) for testing and characterizing the performance of cleanrooms: as-built; Có ba cấp độ điều kiện (trạng thái) để thử nghiệm và mô tả hiệu suất của phòng sạch: được xây dựng; at rest; ở phần còn lại; and operational. và hoạt động. Specific test methods for these three classifications are outlined in 14644-3:2005. Các phương pháp thử nghiệm cụ thể cho ba phân loại này được nêu trong 14644-3: 2005.

Most cleanrooms are rated and sold in the as-built category—an empty room with the filter system running, but without workers and production equipment. Hầu hết các phòng sạch đều được xếp hạng và bán trong danh mục xây dựng, một phòng trống với hệ thống lọc hoạt động, nhưng không có công nhân và thiết bị sản xuất. However, adding workers and equipment will introduce contamination and affect the room rating. Tuy nhiên, việc thêm công nhân và thiết bị sẽ gây ô nhiễm và ảnh hưởng đến xếp hạng phòng. A clean room may be rated ISO 6 at rest, but at ISO 7 during operation. Một phòng sạch có thể được xếp hạng ISO 6 khi nghỉ ngơi, nhưng ở ISO 7 trong khi hoạt động. To comply with performance requirements, the as-built empty room should be tested and benchmarked, followed by testing and documentation of the at-rest and operational states. Để tuân thủ các yêu cầu về hiệu suất, phòng trống được xây dựng nên được kiểm tra và đo điểm chuẩn, tiếp theo là kiểm tra và tài liệu về trạng thái nghỉ và hoạt động. If contamination in the at-rest or operational states is not in compliance, corrective steps need to be taken. Nếu ô nhiễm ở trạng thái nghỉ hoặc hoạt động không tuân thủ, cần thực hiện các bước khắc phục. These steps can range from examining the production process and number of workers in the cleanroom, to testing the room's air flow performance. Các bước này có thể bao gồm từ kiểm tra quy trình sản xuất và số lượng công nhân trong phòng sạch, đến kiểm tra hiệu suất luồng không khí của phòng.

In addition, cleanroom air flow performance can be cost-effectively upgraded by adding fan filter modules (FFM). Ngoài ra, hiệu suất luồng không khí trong phòng sạch có thể được nâng cấp hiệu quả về mặt chi phí bằng cách thêm các mô-đun bộ lọc quạt (FFM). For example, FFMs cover approximately 5-15% of an ISO 8 Class cleanroom ceiling. Ví dụ, FFM bao phủ khoảng 5-15% trần phòng sạch ISO 8 Class. Upgrading to an ISO 7 cleanroom requires 15-25% ceiling coverage and covering 25-40% of the ceiling changes the room to an ISO 6 Class. Nâng cấp lên phòng sạch ISO 7 yêu cầu độ che phủ trần 15-25% và che phủ 25-40% trần nhà thay đổi phòng thành ISO 6 Class.