Hệ thống lọc trong phòng sạch bán dẫn là một phần thiết bị quan trọng để giữ cho môi trường bên trong sạch và không bụi.Để đảm bảo hoạt động hiệu quả của hệ thống lọc và kéo dài tuổi thọ, chúng ta cần phải thực hiện một loạt các biện pháp bảo trì và bảo trì.
Làm sạch thường xuyên bộ lọc: Bộ lọc trong phòng sạch bán dẫn là thành phần cốt lõi để đảm bảo độ sạch không khí,do đó bộ lọc nên được làm sạch hoặc thay thế thường xuyên để ngăn chặn bụi và hạt tắc nghẽn vật liệu bộ lọc và ảnh hưởng đến hiệu ứng lọc của nóKhi làm sạch bộ lọc, nên sử dụng các chất tẩy rửa và công cụ đặc biệt để tránh làm hỏng vật liệu bộ lọc.
Tình trạng hoạt động của hệ thống xả ảnh hưởng trực tiếp đến chất lượng không khí trong phòng sạch. Hệ thống xả nên được kiểm tra thường xuyên để đảm bảo hoạt động bình thường và thông gió trơn tru.Kiểm tra bao gồm quạt, ống dẫn không khí, cửa ống xả và các thành phần khác, nếu thấy bị hư hỏng hoặc bị trục trặc, nó nên được sửa chữa hoặc thay thế kịp thời.
Bằng cách lắp đặt thiết bị giám sát chất lượng không khí, chất lượng không khí trong phòng sạch bán dẫn có thể được theo dõi trong thời gian thực,để các vấn đề về chất lượng không khí có thể được phát hiện kịp thời và các biện pháp tương ứng có thể được thực hiệnVí dụ, khi nồng độ hạt trong không khí vượt quá giá trị đặt,Bộ lọc dự phòng có thể được kích hoạt hoặc số thời gian làm sạch có thể được tăng để giảm nồng độ hạt.
Các thiết bị tiêu thụ và phụ kiện trong phòng sạch bán dẫn, chẳng hạn như mũ phẫu thuật và găng tay, nên được thay thế định kỳ để đảm bảo sự sạch sẽ và khử trùng của chúng.Khi thay thế đồ tiêu thụ và phụ kiện, cần phải cẩn thận để chọn các sản phẩm đáp ứng các yêu cầu và tuân thủ các quy trình hoạt động quy định.
Các nhà khai thác phòng sạch bán dẫn nên được đào tạo có hệ thống để hiểu nguyên tắc, hoạt động và phương pháp bảo trì hệ thống lọc,và cải thiện kỹ năng vận hành và nhận thức về an toànThông qua đào tạo, các nhà khai thác có thể hiểu rõ hơn về điều kiện hoạt động của hệ thống lọc, phát hiện kịp thời và giải quyết các vấn đề.
Theo tình hình thực tế của phòng sạch bán dẫn, xây dựng một kế hoạch bảo trì chi tiết cho hệ thống lọc, bao gồm chu kỳ làm sạch, chu kỳ kiểm tra, chu kỳ thay thế, v.v.Bảo trì theo kế hoạch có thể đảm bảo hoạt động ổn định lâu dài của hệ thống lọc và hiệu ứng lọc.
Thiết lập hồ sơ bảo trì hệ thống lọc và nhật ký bảo trì để ghi lại thời gian, nội dung, nhân viên và thông tin khác của mỗi bảo trì.bạn có thể hiểu tình trạng hoạt động của hệ thống lọc và các vấn đề hiện có, và tìm và giải quyết chúng kịp thời.
Người liên hệ: Mrs. Zhao
Tel: 86 20 13378693703
Fax: 86-20-31213735