Phòng sạch mô-đun được thiết kế với một logic "phân khối xây dựng", cho phép các nhà máy bán dẫn điều chỉnh bố trí không gian theo các yêu cầu quy trình cụ thể.
Ví dụ, các khu vực chụp ảnh, khắc và đóng gói có thể được cấu hình với các mức độ sạch khác nhau (từ ISO 1 đến ISO 9) một cách độc lập.
Tính linh hoạt này loại bỏ nhu cầu tái thiết quy mô lớn khi nâng cấp dây chuyền sản xuất, giảm đáng kể thời gian ngừng hoạt động.
Các tấm modular, thường được làm bằng hợp kim nhôm hoặc thép kẽm, có thể được lắp ráp và tháo ráp,hỗ trợ mở rộng hoặc điều chỉnh nhanh chóng các khu vực phòng sạch khi quy mô sản xuất thay đổi.
Mỗi đơn vị phòng sạch mô-đun được thiết kế với các hệ thống niêm phong tích hợp, bao gồm các khớp niêm phong và điều khiển áp suất khác nhau, để ngăn ngừa nhiễm trùng chéo giữa các vùng.
Hệ thống HVAC cũng được mô-đun hóa, với các đơn vị xử lý không khí (AHU) dành riêng cho mỗi phần, đảm bảo kiểm soát chính xác nhiệt độ (± 0,5 ° C), độ ẩm (± 2%), và số lượng hạt.
Bộ lọc không khí hạt hiệu suất cao (HEPA) hoặc không khí thâm nhập cực thấp (ULPA) được nhúng trong các tấm trần và tường,cung cấp luồng không khí laminar một chiều giảm thiểu sự tích tụ hạt trên wafer.
Ngoài ra, các phòng sạch mô-đun có hệ thống thoát nước sàn tích hợp và quản lý chất thải, chứa vật liệu nguy hiểm trong các khu vực cụ thể để tránh lây lan chất gây ô nhiễm.
Người liên hệ: Mrs. Zhao
Tel: 86 20 13378693703
Fax: 86-20-31213735
Vietnamese
