tin tức công ty về Loại phòng sạch mô-đun chung trong các nhà máy bán dẫn là gì?

Phân loại chung của phòng sạch mô-đun trong nhà máy bán dẫn là gì?

Phòng sạch mô-đun trong nhà máy bán dẫn được thiết kế để đáp ứng các tiêu chuẩn về độ sạch không khí nghiêm ngặt do các quy trình sản xuất cụ thể quy định, chủ yếu tuân thủ hệ thống phân loại ISO 14644-1. Các cấp độ phổ biến nhất như sau:

1. ISO Class 4 (Tương đương Fed-Std-209E Class 10) Đây là cấp độ cao nhất thường được triển khai dưới dạng mô-đun. Nó dành riêng cho các khu vực quy trình quan trọng nhất, chẳng hạn như các khu vực quang khắc nút tiên tiến, các khu vực lắng đọng màng mỏng chính và môi trường quang khắc EUV (Tia cực tím). Các khu vực này đòi hỏi số lượng hạt gần như bằng không đối với các hạt nhỏ tới 0,1 μm. Phòng sạch mô-đun đạt được điều này thông qua các dãy bộ lọc quạt lọc HEPA hoặc ULPA (FFU) dày đặc trên trần, tạo ra luồng không khí laminar dọc, một chiều xuống sàn nâng. Chúng được tích hợp với các điều khiển nghiêm ngặt về nhiệt độ, độ ẩm và rung động.

2. ISO Class 5 (Class 100): Đây là tiêu chuẩn cốt lõi cho các khu vực sản xuất chính. Phần lớn phòng sạch mô-đun cho các quy trình như khuếch tán, khắc, cấy ion và làm phẳng hóa học cơ học (CMP) trong các nhà máy logic và bộ nhớ chính được xây dựng theo tiêu chuẩn ISO 5. Chúng cung cấp một môi trường được kiểm soát, trong đó số lượng hạt ≥0,5 μm bị giới hạn ở mức 3.520 mỗi mét khối. Cấu trúc mô-đun cho phép bố trí hiệu quả các công cụ quy trình, các trục tiện ích và các khoang khí hồi lưu.

3. ISO Class 6 (Class 1.000): Các phòng này thường được triển khai cho các khu vực ít quan trọng hơn một chút, chẳng hạn như một số khu vực đo lường, một số dây chuyền lắp ráp và đóng gói, các trạm kiểm tra wafer và hành lang chuyển vật liệu sạch (AMHS). Chúng cũng phù hợp cho việc sản xuất các thiết bị bán dẫn công suất hoặc các thiết bị trên các nút quy trình trưởng thành.

4. ISO Class 7 (Class 10.000) và ISO Class 8 (Class 100.000): Phòng sạch mô-đun ở các cấp độ này phục vụ các chức năng hỗ trợ và phụ trợ. Chúng thường được sử dụng cho các khoang bảo trì thiết bị, các khu vực cung cấp hóa chất và khí (khu vực giao nhận số lượng lớn), phòng thay đồ và các khu vực chuẩn bị tải/dỡ wafer. Chúng hoạt động như các vùng đệm để ngăn chặn sự lây nhiễm đến khu vực sản xuất cốt lõi có cấp độ cao hơn.